光刻机种类及ASML主要型号介绍

光刻机的种类主要分为I-line、KrF、ArF干法、ArF浸没式和EUV。其中，EUV是最先进的类型。ASML的主要型号包括：I-line的XP 400/450系列，对应制程在300~500nm；KrF的XT860/1060，对应制程在180~130nm；ArF干法的XT1400/1460/1700，对应制程节点130~65nm左右；ArF浸没式的XT1900以及NXT系列，包括NXT1950/1965/1970/1980和NXT2000/2050/2100，对应制程在45nm以下左右。EUV的主要型号是NXE3400/3600，对应7nm以下。