Axcelis与GE Aerospace联合开发高压超结SiC功率器件

Axcelis宣布将与通用电气航空航天公司联合开发6.5至10kV超结SiC功率器件，该工艺将采用Axcelis的高能离子注入机。高压碳化硅功率器件是众多关键新兴应用和未来发展的重要推动力，包括超音速飞行、太空探索等。