微谐振式光学MEMS声传感器的潜力与局限

微谐振式光学MEMS声传感器通过测量折射率变化引起的相位差、波长差和光强变化，实现对声波的探测。虽然其在水下声波探测方面展现出巨大潜力，但也面临着工作频带窄、结构脆弱等问题。