拓荆科技投资11亿元建设高端半导体设备产业化基地

拓荆科技宣布投资约11亿元建设高端半导体设备产业化基地，其中公司投资约3.8亿元，全资子公司拓荆创益投资约7.2亿元。该项目旨在支持公司PECVD、SACVD、HDPCVD等高端半导体设备产品的产业化需求，以满足集成电路制造产线的扩产需求。