晶盛机电在碳化硅领域取得重大突破

晶盛机电在碳化硅领域取得了重大突破，12英寸单片式碳化硅外延生长设备顺利交付全球头部SiC外延晶片生产商瀚天天成。新设备采用独创“垂直分流进气”结构，可在同一平台兼容8/12英寸工艺，实现晶圆表面温度≤±0.5℃的高精度闭环控制、工艺气体多区独立控制、全自动上下料及一键自动PM功能。