上海交通大学无锡光子芯片研究院首批设备入场

上海交通大学无锡光子芯片研究院光子芯片中试线首批设备已入场。该研究院致力于光子芯片、量子科技领域的研究，得到了无锡市的大力支持。此次入场的设备包括金属ICP刻蚀设备和激光切割设备，将为6/8英寸晶圆薄膜铌酸锂光子芯片制造提供关键技术支持。