台积电改变立场，计划引入High-NA EUV光刻技术

在经过数月的争议后，台积电似乎改变了立场，至少ASML发言人莫妮克·莫尔斯表示，该公司将在今年向台积电交付价值3.8亿美元的High-NA EUV光刻机。这一消息使得ASML股价开盘后上涨超过6%。英特尔已于2022年宣布购买5台此类设备，用于2025年生产Intel 18A芯片。