上海优睿谱半导体设备公司成功交付晶圆边缘检测设备SICE200

近期，上海优睿谱半导体设备有限公司顺利向客户交付了晶圆边缘检测设备SICE200。这款设备主要用于硅基和化合物半导体衬底及外延晶圆的边缘缺陷检测。