广东汇成真空科技与武汉理工大学合作开发SiC晶圆外延单片机系统

广东汇成真空科技股份有限公司近日宣布，已与武汉理工大学签订合作协议，共同开发SiC晶圆外延单片机系统的真空系统、温场和气路系统。