上海超硅半导体打造全球领先的全自动智能化300毫米硅片生产基地

上海超硅半导体在上海松江和重庆分别设立了300毫米硅片（含薄层外延片）生产基地和200mm硅片（含外延片、氩气退火片、SOI片等）生产基地，同时还拥有晶圆再生生产基地。公司与一流高校共建半导体材料先进技术联合实验室，致力于提升产品质量和技术水平。公司自主研发并制造了关键的晶体生长装备，包括激光晶体生长装备、200毫米和300毫米单晶硅晶体生长炉系统等。此外，公司还定制化开发了关键300毫米硅片加工工艺装备，自主开发了SOI集成制造核心关键装备。