公司子公司muetec的宏观缺陷检测产品是否可以在光刻过程中实现晶圆检测？

天准科技：您好，感谢对公司的关注。MueTec的产品面向半导体前道晶圆的量测与检测，其中Argos系列、Rembrandt系列属于宏观瑕疵检测设备。光刻过程中的检测属于微观瑕疵检测。