碳化硅器件成本分析

在碳化硅器件的成本构成中，衬底、外延、器件分别占比46%、23%、20%。衬底是碳化硅降本的核心。目前6英寸碳化硅衬底价格在900美金/片左右，数倍于传统硅基半导体。未来通过提升材料使用率、向大尺寸发展、提升良率、提升长晶工艺等方式，碳化硅衬底有望进一步降低生产成本，提高市场竞争力。