安森美与Entegris达成长期供应协议，推动SiC技术应用

安森美公司与材料加工商Entegris于8月7日达成了一项长期供应协议。根据协议，Entegris将为安森美提供一系列用于碳化硅（SiC）应用的同步优化CMP解决方案。SiC是一种高硬度、高密度且化学惰性强的材料，其晶圆表面加工难度较大。Entegris的材料解决方案总裁Dann Woodland表示，SiC技术在电动汽车、电力设备、可再生能源、无线通信和云计算等多个行业有着广阔的应用前景。