三星电子近期宣布,将大幅缩减与荷兰公司ASML的EUV光刻设备采购计划。原本计划引进的下一代EUV光刻设备数量将从4台减少到2台,规模约为1万亿韩元。原本计划投资7亿欧元(约合1万亿韩元)在首都圈建立研发中心,并推动下一代光刻设备的开发,但目前这一计划已经暂停。