天岳先进在液相法领域取得重大突破

2024-11-06 21:41
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天岳先进在备受关注的液相法领域取得了重大突破,并于2024年推出了采用液相法制备的4度偏角P型碳化硅衬底。这种新型的P型碳化硅衬底具有优秀的电阻率小于200mΩ·cm,面内电阻率分布均匀,结晶性良好的特性。