粤升半导体实现SiC外延设备大批量出货

粤升半导体在今年9月实现了SiC外延设备的大批量出货。该公司自主研发的SiC外延设备，已在客户端连续稳定运行近两年，生长的SiC外延片质量达到国际先进水平，特别是能满足厚膜以及3C晶型的外延要求。