深圳平湖实验室建设的全国首条8吋SiC/GaN中试线及其开放共享平台

深圳平湖实验室已经建成了全国首条8吋SiC/GaN中试线的功率半导体开放共享平台。这个平台覆盖了第三代功率半导体衬底、外延、器件制备、封装测试、失效分析、可靠性验证全链条，并且具备向下兼容的能力。