KNN薄膜在8英寸硅晶圆上的成功集成

日本住友化学公司近日宣布，已成功在大尺寸（8英寸）硅晶圆上沉积了KNN薄膜，并实现了良好的厚度均匀性。这一成果为KNN薄膜的商业化提供了重要支持，有助于满足压电MEMS产业的需求。此外，法国格勒诺布尔-阿尔卑斯大学和雷恩第一大学的研究人员也在8英寸硅晶圆技术平台上，采用工业兼容工艺将最先进的KNN薄膜集成到了MEMS执行器件中。