中科微感MEMS氢气传感器性能优异

2024-05-09 00:00
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中科微感公司的MEMS氢气传感器表现出色,特别是在晶圆级批量生产过程中。以CM-A107S型号为例,该传感器在单颗LGA封装下,初始阻值和响应值的一致性偏差已非常接近5%,且良品率达到了惊人的98%。这一成果标志着公司在MEMS气体传感器领域的技术实力,为未来汽车行业的应用提供了强有力的支持。