KNN薄膜在8吋矽晶圓上的成功集成

日本住友化學公司近日宣布，已成功在大尺寸（8吋）矽晶圓上沉積了KNN薄膜，並實現了良好的厚度均勻性。這項成果為KNN薄膜的商業化提供了重要支持，有助於滿足壓電MEMS產業的需求。此外，法國格勒諾布爾-阿爾卑斯大學和雷恩第一大學的研究人員也在8吋矽晶圓技術平台上，採用工業相容製程將最先進的KNN薄膜整合到了MEMS執行元件中。