8インチシリコンウェーハ上へのKNN薄膜の集積化に成功

日本の住友化学株式会社は最近、大型 (8 インチ) シリコンウェーハ上に KNN 薄膜を堆積し、良好な厚さの均一性を達成することに成功したと発表しました。この成果は、KNN フィルムの商品化に重要な支援を提供し、圧電 MEMS 業界のニーズを満たすのに役立ちます。さらに、フランスのグルノーブル アルプ大学とレンヌ第 1 大学の研究者らは、8 インチのシリコン ウェーハ技術プラットフォーム上で工業的に互換性のあるプロセスを使用して、最先端の KNN フィルムを MEMS アクチュエータ デバイスに統合しました。