Succesfuld integration af KNN tynd film på 8-tommer silicium wafer
Sumitomo Electric
Ja
De
EMS
MEMS
De
del
præstation
Ja
tomme
Sumitomo Chemical
Ren
rat
delt
Japan
ring
elektrisk
kompatibel
Frankrig
industri
2024-12-23 10:19
0
Sumitomo Chemical Corporation i Japan meddelte for nylig, at det med succes har deponeret KNN tynde film på store (8-tommer) siliciumwafers og opnået god tykkelsesensartethed. Denne præstation giver vigtig støtte til kommercialiseringen af KNN-film og hjælper med at opfylde behovene i den piezoelektriske MEMS-industri. Derudover integrerede forskere fra University of Grenoble-Alpes og University of Rennes 1 i Frankrig også den mest avancerede KNN-film i MEMS-aktuatorenheder ved hjælp af en industrielt kompatibel proces på en 8-tommer siliciumwaferteknologiplatform.
