Успешная интеграция тонкой пленки KNN на 8-дюймовую кремниевую пластину

Японская корпорация Sumitomo Chemical Corporation недавно объявила, что она успешно нанесла тонкие пленки KNN на кремниевые пластины большого размера (8 дюймов) и добилась хорошей однородности толщины. Это достижение обеспечивает важную поддержку коммерциализации пленок KNN и помогает удовлетворить потребности индустрии пьезоэлектрических МЭМС. Кроме того, исследователи из Университета Гренобль-Альпы и Университета Ренн-1 во Франции также интегрировали самую передовую пленку KNN в исполнительные устройства MEMS, используя промышленно совместимый процесс на технологической платформе 8-дюймовых кремниевых пластин.