Паспяховая інтэграцыя тонкай плёнкі KNN на 8-цалевую крэмніевую пласціну

2024-12-23 10:19
 0
Нядаўна японская хімічная карпарацыя Sumitomo абвясціла, што яна паспяхова нанесла тонкія плёнкі KNN на крамянёвыя пласціны вялікага памеру (8 цаляў) і дасягнула добрай аднастайнасці таўшчыні. Гэта дасягненне забяспечвае важную падтрымку камерцыялізацыі плёнак KNN і дапамагае задаволіць патрэбы індустрыі п'езаэлектрычных MEMS. Акрамя таго, даследчыкі з Універсітэта Грэнобль-Альпы і Універсітэта Рэна 1 у Францыі таксама інтэгравалі самую перадавую плёнку KNN у актуатарныя прылады MEMS з выкарыстаннем прамыслова сумяшчальнага працэсу на 8-цалевай тэхналагічнай платформе крэмніевых пласцін.