A KNN vékonyréteg sikeres integrálása 8 hüvelykes szilícium lapkán

A japán Sumitomo Chemical Corporation a közelmúltban bejelentette, hogy sikeresen felvitt KNN vékony filmeket nagy méretű (8 hüvelykes) szilíciumlapkákra, és jó vastagsági egyenletességet ért el. Ez az eredmény fontos támogatást nyújt a KNN filmek kereskedelmi forgalomba hozatalához, és segít kielégíteni a piezoelektromos MEMS-ipar igényeit. Emellett a Grenoble-Alpes Egyetem és a franciaországi Rennes 1 Egyetem kutatói a legfejlettebb KNN-fóliát is integrálták MEMS működtető eszközökbe egy iparilag kompatibilis eljárással egy 8 hüvelykes szilícium lapka technológiai platformon.