Успішна інтеграція тонкої плівки KNN на 8-дюймову кремнієву пластину

Нещодавно японська хімічна корпорація Sumitomo оголосила, що вона успішно нанесла тонкі плівки KNN на кремнієві пластини великого розміру (8 дюймів) і досягла хорошої рівномірності товщини. Це досягнення забезпечує важливу підтримку для комерціалізації плівок KNN і допомагає задовольнити потреби промисловості п’єзоелектричних MEMS. Крім того, дослідники з Університету Гренобль-Альпи та Університету Ренна 1 у Франції також інтегрували найдосконалішу плівку KNN у виконавчі пристрої MEMS за допомогою промислово-сумісного процесу на 8-дюймовій технологічній платформі кремнієвих пластин.