Uspješna integracija KNN tankog filma na 8-inčnu silikonsku pločicu

2024-12-23 10:19
 0
Sumitomo Chemical Corporation iz Japana nedavno je objavila da je uspješno nanijela KNN tanke filmove na silicijske pločice velike veličine (8 inča) i postigla dobru ujednačenost debljine. Ovo postignuće pruža važnu potporu komercijalizaciji KNN filmova i pomaže zadovoljiti potrebe piezoelektrične MEMS industrije. Osim toga, istraživači sa Sveučilišta Grenoble-Alpes i Sveučilišta Rennes 1 u Francuskoj također su integrirali najnapredniji KNN film u MEMS aktuatorske uređaje koristeći industrijski kompatibilan proces na 8-inčnoj tehnološkoj platformi silicij wafer.