SAW陀螺儀的製造流程及測量方案

西北工業大學的研究團隊介紹了一種SAW陀螺儀的製造工藝，包括使用MEMS工藝來製造SAW裝置。他們還提出了一個測量方案，用於評估SAW陀螺儀的反應特性。