Lam Research推出全球首款量產型脈衝雷射沉積機台

Lam Research公司近期推出了全球首款量產的脈衝雷射沉積(PLD)機台，旨在提升基於MEMS技術的下一代麥克風和射頻(RF)濾波器的性能。這款名為Pulsus™ PLD的系統能夠提供含鈧量更高的摻鈧氮化鋁(AlScN)薄膜，為消費性和汽車領域的高性能元件鋪平了道路。目前，Pulsus™已開始向部分特種MEMS元件製造商出貨。