램리서치, 세계 최초로 대량 생산되는 펄스 레이저 증착기 출시

램리서치는 최근 MEMS 기술을 기반으로 한 차세대 마이크와 무선 주파수(RF) 필터의 성능 향상을 목표로 세계 최초의 대량 생산용 펄스 레이저 증착(PLD) 장비를 출시했습니다. Pulsus™ PLD라고 불리는 이 시스템은 스칸듐 함량이 더 높은 스칸듐 도핑된 질화알루미늄(AlScN) 필름을 제공하여 소비자 가전 및 자동차 응용 분야의 고성능 장치를 위한 길을 열어줍니다. 현재 Pulsus™는 일부 특수 MEMS 장치 제조업체에 배송되기 시작했습니다.