Lam Research、世界初の量産型パルスレーザー蒸着機を発売

Lam Research は最近、MEMS テクノロジーに基づいた次世代マイクと高周波 (RF) フィルターの性能向上を目的として、世界初の量産用パルスレーザー蒸着 (PLD) マシンを発売しました。 Pulsus™ PLD と呼ばれるこのシステムは、スカンジウム含有量が高いスカンジウムドープ窒化アルミニウム (AlScN) 膜を提供し、民生用および自動車用アプリケーションにおける高性能デバイスへの道を開きます。現在、Pulsus™ は一部の MEMS デバイス専門メーカーへの出荷を開始しています。