Lam Research bringt die weltweit erste massenproduzierte Pulslaser-Beschichtungsmaschine auf den Markt

Lam Research hat kürzlich die weltweit erste gepulste Laserdepositionsmaschine (PLD) für die Massenproduktion auf den Markt gebracht, mit dem Ziel, die Leistung von Mikrofonen und Hochfrequenzfiltern (RF) der nächsten Generation auf Basis der MEMS-Technologie zu verbessern. Das System mit dem Namen Pulsus™ PLD liefert scandiumdotierte Aluminiumnitridfilme (AlScN) mit höherem Scandiumgehalt und ebnet so den Weg für Hochleistungsgeräte in Verbraucher- und Automobilanwendungen. Derzeit hat Pulsus™ mit der Auslieferung an einige Hersteller von Spezial-MEMS-Geräten begonnen.