Lam Research lance la première machine de dépôt laser pulsé produite en série au monde

Lam Research a récemment lancé la première machine de dépôt laser pulsé (PLD) au monde pour la production de masse, visant à améliorer les performances des microphones et des filtres radiofréquences (RF) de nouvelle génération basés sur la technologie MEMS. Le système, appelé Pulsus™ PLD, produit des films de nitrure d'aluminium dopé au scandium (AlScN) avec une teneur plus élevée en scandium, ouvrant la voie à des dispositifs hautes performances dans les applications grand public et automobiles. Actuellement, Pulsus™ a commencé à être expédié à certains fabricants de dispositifs MEMS spécialisés.