Lam Research lanceert 's werelds eerste in massa geproduceerde gepulseerde laserdepositiemachine

Lam Research heeft onlangs 's werelds eerste pulsed laser deposition (PLD)-machine voor massaproductie gelanceerd, met als doel de prestaties van de volgende generatie microfoons en radiofrequentie (RF)-filters op basis van MEMS-technologie te verbeteren. Het systeem, genaamd Pulsus™ PLD, levert scandium-gedoteerde aluminiumnitride (AlScN)-films met een hoger scandiumgehalte, wat de weg vrijmaakt voor hoogwaardige apparaten in consumenten- en automobieltoepassingen. Momenteel is Pulsus™ begonnen met verzending naar een aantal gespecialiseerde fabrikanten van MEMS-apparaten.