Lam Research lancerer verdens første masseproducerede pulserende laseraflejringsmaskine

Lam Research lancerede for nylig verdens første pulsed laser deposition (PLD) maskine til masseproduktion med det formål at forbedre ydeevnen af ​​næste generations mikrofoner og radiofrekvensfiltre (RF) baseret på MEMS-teknologi. Systemet, kaldet Pulsus™ PLD, leverer scandium-doteret aluminiumnitrid (AlScN) film med højere scandiumindhold, hvilket baner vejen for højtydende enheder til forbruger- og bilapplikationer. I øjeblikket er Pulsus™ begyndt at sende til nogle specialiserede MEMS-enhedsproducenter.