Lam Research lanserar världens första masstillverkade pulserande laserdeponeringsmaskin

Lam Research lanserade nyligen världens första pulserande laseravsättningsmaskin (PLD) för massproduktion, som syftar till att förbättra prestandan hos nästa generations mikrofoner och radiofrekvensfilter (RF) baserade på MEMS-teknik. Systemet, kallat Pulsus™ PLD, levererar skandiumdopade aluminiumnitrid (AlScN) filmer med högre skandiumhalt, vilket banar väg för högpresterande enheter i konsument- och fordonstillämpningar. För närvarande har Pulsus™ börjat levereras till vissa specialtillverkare av MEMS-enheter.