Lam Research lanza la primera máquina de deposición por láser pulsado producida en masa del mundo

Lam Research lanzó recientemente la primera máquina de deposición por láser pulsado (PLD) del mundo para producción en masa, con el objetivo de mejorar el rendimiento de micrófonos y filtros de radiofrecuencia (RF) de próxima generación basados ​​en tecnología MEMS. El sistema, llamado Pulsus™ PLD, ofrece películas de nitruro de aluminio dopado con escandio (AlScN) con mayor contenido de escandio, allanando el camino para dispositivos de alto rendimiento en aplicaciones de consumo y automotrices. Actualmente, Pulsus™ ha comenzado a enviarse a algunos fabricantes de dispositivos MEMS especializados.