Lam Research lancia la prima macchina di deposizione laser pulsata prodotta in serie al mondo

Lam Research ha recentemente lanciato la prima macchina al mondo per la deposizione laser pulsata (PLD) per la produzione di massa, con l'obiettivo di migliorare le prestazioni dei microfoni e dei filtri a radiofrequenza (RF) di prossima generazione basati sulla tecnologia MEMS. Il sistema, chiamato Pulsus™ PLD, fornisce pellicole di nitruro di alluminio drogato con scandio (AlScN) con un contenuto di scandio più elevato, aprendo la strada a dispositivi ad alte prestazioni nelle applicazioni di consumo e automobilistiche. Attualmente, Pulsus™ ha iniziato la spedizione ad alcuni produttori di dispositivi MEMS specializzati.