Η Lam Research λανσάρει την πρώτη μηχανή εναπόθεσης παλμικού λέιζερ μαζικής παραγωγής στον κόσμο

Η Lam Research κυκλοφόρησε πρόσφατα το πρώτο μηχάνημα εναπόθεσης παλμικού λέιζερ (PLD) στον κόσμο για μαζική παραγωγή, με στόχο τη βελτίωση της απόδοσης μικροφώνων επόμενης γενιάς και φίλτρων ραδιοσυχνοτήτων (RF) που βασίζονται στην τεχνολογία MEMS. Το σύστημα, που ονομάζεται Pulsus™ PLD, παρέχει μεμβράνες νιτριδίου αλουμινίου με πρόσμειξη σκανδίου (AlScN) με υψηλότερη περιεκτικότητα σε σκάνδιο, ανοίγοντας το δρόμο για συσκευές υψηλής απόδοσης σε εφαρμογές καταναλωτών και αυτοκινήτων. Επί του παρόντος, το Pulsus™ έχει αρχίσει να αποστέλλεται σε ορισμένους κατασκευαστές εξειδικευμένων συσκευών MEMS.