Lam Research lanserer verdens første masseproduserte pulserende laseravsetningsmaskin

Lam Research lanserte nylig verdens første pulsed laser deposition (PLD) maskin for masseproduksjon, med sikte på å forbedre ytelsen til neste generasjons mikrofoner og radiofrekvensfiltre (RF) basert på MEMS-teknologi. Systemet, kalt Pulsus™ PLD, leverer skandiumdopet aluminiumnitrid (AlScN) filmer med høyere skandiuminnhold, og baner vei for høyytelsesenheter i forbruker- og bilapplikasjoner. For øyeblikket har Pulsus™ begynt å sende til noen spesialprodusenter av MEMS-enheter.