Lam Research, dünyanın ilk seri üretilen darbeli lazer biriktirme makinesini piyasaya sürüyor

Lam Research kısa süre önce seri üretime yönelik dünyanın ilk darbeli lazer biriktirme (PLD) makinesini piyasaya sürdü ve MEMS teknolojisine dayalı yeni nesil mikrofonların ve radyo frekansı (RF) filtrelerinin performansını artırmayı hedefledi. Pulsus™ PLD adı verilen sistem, daha yüksek skandiyum içeriğine sahip skandiyum katkılı alüminyum nitrür (AlScN) filmler sunarak tüketici ve otomotiv uygulamalarında yüksek performanslı cihazların önünü açıyor. Pulsus™ şu anda bazı özel MEMS cihaz üreticilerine gönderilmeye başlamıştır.