Lam Research запускает первую в мире машину для импульсного лазерного осаждения массового производства

Компания Lam Research недавно запустила первую в мире машину для импульсного лазерного осаждения (PLD) для массового производства с целью улучшить характеристики микрофонов и радиочастотных (RF) фильтров следующего поколения на основе технологии MEMS. Система под названием Pulsus™ PLD позволяет получать пленки из легированного скандием нитрида алюминия (AlScN) с более высоким содержанием скандия, открывая путь для создания высокопроизводительных устройств в потребительских и автомобильных приложениях. В настоящее время Pulsus™ начал поставляться некоторым производителям специализированных MEMS-устройств.