Uzņēmums Lam Research laiž klajā pasaulē pirmo masveidā ražoto impulsa lāzera uzklāšanas iekārtu

Uzņēmums Lam Research nesen laida klajā pasaulē pirmo pulsējošā lāzera depozīcijas (PLD) iekārtu masveida ražošanai, lai uzlabotu nākamās paaudzes mikrofonu un radiofrekvenču (RF) filtru veiktspēju, pamatojoties uz MEMS tehnoloģiju. Sistēma, ko sauc par Pulsus™ PLD, nodrošina ar skandiju leģētas alumīnija nitrīda (AlScN) plēves ar lielāku skandija saturu, paverot ceļu augstas veiktspējas ierīcēm patērētāju un automobiļu lietojumos. Pašlaik Pulsus™ ir sācis piegādāt dažiem īpašiem MEMS ierīču ražotājiem.