Lam Research lansira prvi masovno proizveden stroj za lasersko nanašanje s pulznim laserjem

Lam Research je pred kratkim lansiral prvi na svetu stroj za lasersko nanašanje z impulznim laserjem (PLD) za množično proizvodnjo, katerega namen je izboljšati delovanje mikrofonov naslednje generacije in radiofrekvenčnih (RF) filtrov, ki temeljijo na tehnologiji MEMS. Sistem, imenovan Pulsus™ PLD, zagotavlja filme iz aluminijevega nitrida (AlScN), dopiranega s skandijem, z višjo vsebnostjo skandija, kar utira pot visoko zmogljivim napravam v potrošniških in avtomobilskih aplikacijah. Trenutno je Pulsus™ začel dobavljati nekaterim specializiranim proizvajalcem naprav MEMS.