Кампанія Lam Research запускае першую ў свеце машыну з імпульсным лазерным нанясеннем серыйнага вытворчасці

Кампанія Lam Research нядаўна запусціла першую ў свеце машыну імпульснага лазернага нанясення (PLD) для масавай вытворчасці з мэтай павышэння прадукцыйнасці мікрафонаў наступнага пакалення і радыёчастотных (RF) фільтраў на аснове тэхналогіі MEMS. Сістэма пад назвай Pulsus™ PLD стварае плёнкі з нітрыду алюмінію, легаванага скандыем (AlScN) з больш высокім утрыманнем скандыю, што адкрывае шлях для высокапрадукцыйных прылад у бытавой і аўтамабільнай прамысловасці. У цяперашні час Pulsus™ пачаў пастаўляцца некаторым спецыялізаваным вытворцам прылад MEMS.