Lam Research uvádí na trh první sériově vyráběný pulzní laserový depoziční stroj na světě

Společnost Lam Research nedávno uvedla na trh první stroj na pulsní laserovou depozici (PLD) na světě pro hromadnou výrobu, jehož cílem je zlepšit výkon mikrofonů a vysokofrekvenčních (RF) filtrů nové generace založených na technologii MEMS. Systém nazvaný Pulsus™ PLD poskytuje filmy z nitridu hliníku dopovaného skandiem (AlScN) s vyšším obsahem skandia, čímž dláždí cestu pro vysoce výkonná zařízení ve spotřebitelských a automobilových aplikacích. V současné době se Pulsus™ začal dodávat některým výrobcům speciálních zařízení MEMS.