Lam Research запускає першу в світі масову машину для імпульсного лазерного осадження

Компанія Lam Research нещодавно запустила першу в світі машину для масового лазерного осадження (PLD) з метою покращення продуктивності мікрофонів наступного покоління та радіочастотних (РЧ) фільтрів на основі технології MEMS. Система під назвою Pulsus™ PLD забезпечує виготовлення плівок нітриду алюмінію, легованого скандієм (AlScN) з підвищеним вмістом скандію, що відкриває шлях для високопродуктивних пристроїв у споживчому та автомобільному застосуванні. Наразі Pulsus™ почав поставлятися деяким спеціалізованим MEMS-пристроям.