„Lam Research“ pristato pirmąjį pasaulyje masinės gamybos impulsinį lazerinį nusodinimo įrenginį

„Lam Research“ neseniai pristatė pirmąją pasaulyje masinei gamybai skirtą impulsinio nusodinimo lazeriu (PLD) aparatą, kuriuo siekiama pagerinti naujos kartos mikrofonų ir radijo dažnių (RF) filtrų, pagrįstų MEMS technologija, veikimą. Sistema, vadinama Pulsus™ PLD, tiekia skandžiu legiruotas aliuminio nitrido (AlScN) plėveles su didesniu skandžio kiekiu, atveria kelią didelio našumo prietaisams, skirtiems vartotojams ir automobiliams. Šiuo metu „Pulsus™“ pradėjo tiekti kai kuriems specializuotiems MEMS įrenginių gamintojams.