Lam Research toob turule maailma esimese masstoodetud impulsslasersadestamise masina

Lam Research tõi hiljuti turule maailma esimese masstootmiseks mõeldud impulsslasersadestamise (PLD) masina, mille eesmärk on parandada MEMS-tehnoloogial põhinevate järgmise põlvkonna mikrofonide ja raadiosageduslike (RF) filtrite jõudlust. Süsteem nimega Pulsus™ PLD tarnib skandiumiga legeeritud alumiiniumnitriidkilesid (AlScN) suurema skandiumisisaldusega, sillutades teed suure jõudlusega seadmetele tarbe- ja autotööstuses. Praegu on Pulsus™ hakanud tarnima mõnele spetsiaalsele MEMS-seadmete tootjale.