Lam Research lansira prvi u svijetu masovno proizveden pulsni laserski stroj za taloženje

Lam Research nedavno je pokrenuo prvi svjetski stroj za lasersko taloženje (PLD) za masovnu proizvodnju, s ciljem poboljšanja performansi sljedeće generacije mikrofona i radiofrekventnih (RF) filtara temeljenih na MEMS tehnologiji. Sustav, nazvan Pulsus™ PLD, isporučuje skandijem dopirane aluminijeve nitride (AlScN) filmove s višim sadržajem skandijuma, utirući put uređajima visokih performansi u potrošačkim i automobilskim aplikacijama. Trenutačno se Pulsus™ počeo isporučivati ​​nekim proizvođačima specijalnih MEMS uređaja.